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性能介紹

ST9000 BSGS可適應ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs等各種氣源的供給方式，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時）。ST9000 BSGS采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、溫控等裝置，實現(xiàn)設備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局、調(diào)壓閥J-T效應加熱器等，既滿足了半導體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)大流量供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。